什么是特氣系統(tǒng)？

特氣系統(tǒng)主要用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體等。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體及惰性氣體等。特氣日前主要指大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用最先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴(yán)格的要求。

日照工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣(On-site)或工業(yè)園區(qū)管道(Pipeline)集中供應(yīng)方式，一個(gè)年產(chǎn)5萬(wàn)片的8英寸 超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^5,000Nm3/h，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。

日照特氣供應(yīng)系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取Ｌ胤N氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨(dú)立的氣體房，獨(dú)立的抽風(fēng)系統(tǒng)。

日照特氣系統(tǒng)設(shè)計(jì).jpg

我國(guó)特氣系統(tǒng)的發(fā)展前景

目前中國(guó)的電子特氣產(chǎn)業(yè)還處在發(fā)展初期階段，但國(guó)家層面已經(jīng)出臺(tái)了多個(gè)政策來支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展，如發(fā)改委印發(fā)《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃（2018-2020年）》第四部分中高端專用化學(xué)品第三條中明確提到特種電子氣體：高純氯氣、氯化氫、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、鍺烷、高純鍺烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、乙硅烷、高純溴化氫、高純乙硅烷等。

特氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

特氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

GOST R 57375-2016 配氣系統(tǒng). 配氣網(wǎng). 技術(shù)裝置設(shè)計(jì)的服務(wù)壽命評(píng)估

SY/T 6966-2013 輸油氣管道工程安全儀表系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

CGA G-4.10-2008 高壓氧呼吸氣系統(tǒng)使用非金屬材料時(shí)減輕毒性潛在危險(xiǎn)的設(shè)計(jì)考慮

SH 3009-2001 石油化工企業(yè)燃料氣系統(tǒng)和可燃性氣體排放系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

KS V 8204-1999 船舶用電氣裝置.第203部分:系統(tǒng)設(shè)計(jì).聲和光信號(hào)

EJ/T 338-1988 壓水堆核電廠核供汽系統(tǒng)疏水和放氣設(shè)計(jì)準(zhǔn)則

CB/Z 234-1987 常規(guī)潛艇低壓氣吹除系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)則

它相同于實(shí)驗(yàn)室氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)，又與實(shí)驗(yàn)室用氣體有不同之處，要區(qū)別對(duì)待。